一、酸蝕法除鈷,酸會(huì)與Co發(fā)生化學(xué)反應(yīng),以去除基底表面的鈷。酸性物質(zhì)種類(lèi)、濃度、溫度和刻蝕時(shí)間對(duì)dlc膜基結(jié)合力有重要影響。簡(jiǎn)單的酸化處理不僅可以去除鈷,而且會(huì)在硬質(zhì)合金基底表面上形成許多孔隙,從而降低類(lèi)金剛石膜的粘附性。用Murakami水溶液對(duì)WC進(jìn)行浸蝕,用Caro'sacid(H2SO4+H2O2)進(jìn)行除鈷處理,使基底表面粗糙度增大,有利于類(lèi)金剛石成核,大大提高了類(lèi)金剛石膜與基底的結(jié)合力。
增加了過(guò)渡層的設(shè)置。
二、dlc鍍層前在硬質(zhì)合金基底上形成一層或多層過(guò)渡層,不僅能抑制鈷的擴(kuò)散,促進(jìn)dlc膜的生長(zhǎng),還能減緩膜基界面的應(yīng)力突變,增加膜基的結(jié)合力。常見(jiàn)的過(guò)渡層有Si,TiN,TiC/Ti,CrC/Cr,CrN等。
三、表面噴砂。噴砂處理,是工件表面處理工藝之一。利用壓縮空氣作為動(dòng)力,形成高速?lài)娚涫?,將噴射料高速?lài)娤蛐枰幚淼墓ぜ砻?,從而改變工件表面的外觀或形狀。通過(guò)磨料對(duì)工件表面的沖擊和切削作用,可使工件表面獲得一定的清潔度,并提高工件表面的粗糙度,從而改善工件表面的機(jī)械性能,提高工件抗疲勞、增強(qiáng)與涂層間的附著力,延長(zhǎng)涂膜壽命。經(jīng)過(guò)320目白剛玉砂粒的噴砂處理后,硬質(zhì)合金基膜基結(jié)合力可達(dá)60N,比未噴砂處理時(shí)提高了一倍。它的主要原因是:
1.噴砂處理后的基底表面接觸角變小,同時(shí)成核熱勢(shì)壘能也隨之減小,熱勢(shì)壘的降低有利于PVD過(guò)程中離子團(tuán)的生長(zhǎng)和成核。
2.去除表面粘附強(qiáng)度低的WC相,使表面粗糙度增大,有利于成核,有利于提高膜基結(jié)合力;
3.硬質(zhì)合金基底上dlc涂層薄膜噴砂處理后,內(nèi)應(yīng)力下降。
四、金屬元素的摻雜,用金屬摻雜dlc涂層(鎢、鈦、銀、鉻等)可降低涂層內(nèi)應(yīng)力,增加膜基的結(jié)合力。
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