類金剛石薄膜也俗稱DHL薄膜。類金剛石薄膜是一種與金剛石性質相似、硬度高、電阻率高、光學性能好的非晶碳膜。并有其獨特的摩擦學特性。類金剛石薄膜兼具金剛石和石墨的優(yōu)異性能。它們是亞穩(wěn)態(tài)和長程無序無定形材料。碳原子之間的鍵合方式是共價鍵,主要包括sp2和sp3雜化鍵。然而,在含氫類金剛石薄膜中仍然存在一定數量的碳氫鍵。
類金剛石薄膜的基本成分是碳。由于碳的來源和制備方法的不同,類金剛石薄膜可以分為兩類:含氫和不含氫。類金剛石碳膜是一種具有長程無序的亞穩(wěn)態(tài)非晶材料。碳原子之間的鍵是共價鍵,主要包括sp2和sp3雜化鍵。含氫類金剛石碳膜中也有一定數量的碳氫鍵。
類金剛石薄膜作為一種新型的硬質薄膜材料,具有一系列優(yōu)異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導率、高電阻率、良好的光學透明性、化學惰性等。類金剛石薄膜可廣泛應用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫(yī)學等領域,具有良好的應用前景。
類金剛石薄膜具有高硬度和優(yōu)異的耐磨性,非常適合用作硬質工具涂層,沉積在軸承、工具等表面,不僅可以延長工具的使用壽命,還可以提高功效。類金剛石碳膜高度摻雜。由于其寬帶隙,它有利于在高溫條件下使用高度集成的電子器件。
類金剛石薄膜具有良好的化學穩(wěn)定性和耐腐蝕性(耐酸、耐堿、耐鹽)。它不僅可用作光學元件的減反射膜和保護膜,防止光學元件被飛沙劃傷或被酸、堿、鹽溶液腐蝕,還可應用于光盤保護膜、手表玻璃保護膜、眼鏡鏡片(玻璃和樹脂)保護膜和汽車擋風玻璃保護膜。
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